一種薄膜磁電復合材料及其制備方法,屬于磁性功能材料及制備技術領域。磁電復合材料特征在于:由磁致伸縮薄膜層、導電薄膜層和壓電陶瓷襯底復合而成。制備方法是在做好電極的壓電襯底上采用物理氣相沉積(PVD)技術沉積一層磁致伸縮薄膜。該磁電復合材料界面復合強度高、結構簡單、有效避免了鐵電鐵磁兩相間的相反應,具有良好的磁電轉換系數,高頻渦流損耗小、性能穩定、尺寸輕薄,非常適合制備微型傳感器件。此外,該制備方法簡單可行、成本低廉,克服了層疊磁電復合材料及傳統薄膜磁電復合材料制備工藝復雜、成本高等缺點。
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