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處理室裝置及其大氣置換方法及包括該裝置的電光學裝置

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供一種可以在短時間內對處理室內的惰性氣體和大氣進行有效置換的處理室裝置的大氣置換方法、處理室裝置、包括該處理室裝置的電光學裝置以及有機EL裝置。是將構成處理室(11)內的惰性氣體環境和大氣進行置換的處理室裝置(3)的大氣置換方法,開放處理室(11)的排氣通道(102),同時關閉惰性氣體的氣體供給通道(138),強制向處理室(11)內送入外部氣體,將處理室(11)內的惰性氣體和外部氣體置換。
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“處理室裝置及其大氣置換方法及包括該裝置的電光學裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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