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脈沖激光微沉積圖案形成

737   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本申請披露了一種利用脈沖激光在透明基片上形成圖案的方法。不同的實施例包括超短脈沖激光,對于激光波長透明的基片,和靶板。激光束被引導通過透明基片并聚焦在靶表面上。靶材料被激光燒蝕并且被沉積在相對的基片表面上。通過相對于靶掃描激光束形成圖案,例如灰度圖像。激光束掃描速度和掃描線密度的變化控制了材料沉積并且改變了沉積圖案的光學特性,產生視覺效果的灰度。在一些實施例中,在制備過程中可在微電子設備的一部分上形成圖案。在一些實施例中,高重復頻率皮秒和納秒源被設置成產生圖案。
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聲明：
“脈沖激光微沉積圖案形成” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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