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基于梯度預晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法

872   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:02
基于梯度預晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法，屬于功能材料技術領域。本發明在逐層制備多層BST薄膜的過程中，對逐層制備的BST薄膜進行梯度預晶化熱處理。梯度預晶化熱處理BST薄膜沿(110)晶面生長、生長均勻緩慢、平均晶粒20～30nm、晶界清晰、晶粒間隙小、光滑致密、無裂紋、無縮孔，介溫系數小、頻率特性穩定、綜合介電性能顯著提高。介電常數322～398、調諧率34.5%～46.3%、介電損耗0.55%～0.97%、漏電流密度4.2×10-9～9.0×10-8A/cm2、介溫系數1.3×10-3～3.4×10-3/K、優質因子42.9～76.1，可滿足BST薄膜的微波實用。
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“基于梯度預晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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