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集成標準CMOS工藝的金屬氧化物電阻存儲器及其制備方法

792   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:01
本發明涉及微電子技術領域，具體是一種集成標準CMOS工藝的金屬氧化物電阻存儲器及其制備方法。該方法包括：在常規CMOS工藝完成前段工藝至鎢栓塞形成后，沉積金屬層間介質層；之后將存儲陣列部分鎢栓塞上方的介質層打開，形成第一層金屬布線溝槽，露出鎢栓塞；隨后生長金屬氧化物功能材料、電極材料、擴散阻擋層、仔晶銅以及電鍍銅，最后用化學機械拋光一步形成存儲單元及第一層金屬布線。本發明方法工藝簡便，在標準工藝的基礎上不需要額外增加光照步驟，成本低，效果好。
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聲明：
“集成標準CMOS工藝的金屬氧化物電阻存儲器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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