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能夠提升介電性能的壓電薄膜生產工藝

1085   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明公開了一種能夠提升介電性能的壓電薄膜生產工藝，具體涉及功能材料制備技術領域。通過對壓電薄膜的介電系數以及加工環節中流程對壓電薄膜介電系數的影響進行分析，可以得出壓電薄膜的結晶相本征介電性和壓電薄膜的尺寸效應是介電特性主要的變化依據，根據分析結果，進行了初始薄膜制備、單軸拉伸、高壓極化、磁控濺射等制備工藝，對每項工藝步驟的參數進行探索，并對PVDF敏感材料進行傳感器封裝，進行了傳感器產品非常重要的壓電系數參數的檢測，其靜態壓電系數d33達到13.1PC/N，滿足使用要求，獲得可以實際工程配套的工程化產品，提高了對壓電薄膜的自動化加工效果，且在保障加工效率的同時對壓電薄膜的介電性起到了保障的作用。
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“能夠提升介電性能的壓電薄膜生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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