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WO3電致變色薄膜的制備方法

983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
WO3薄膜具有可見光透射率調節范圍大、著色效率高、響應時間短、循環穩定性好和環境友好等優點?；赪O3薄膜的電致變色器件可廣泛應用于建筑、汽車等作為節能靈巧窗。本發明涉及WO3光電功能材料，提供了一種薄膜質量好、厚度均勻、變色響應時間短的WO3電致變色薄膜的制備方法。本發明以WO3為靶材，利用射頻磁控濺射方法在透明導電ITO玻璃襯底上制備電致變色WO3薄膜。本發明制備工藝簡單，容易控制，重復性好，沉積速率穩定，便于大規模生產制備。
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