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通過頻率調控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法

984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:01
本發明涉及一種通過頻率調控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法，屬于鐵電功能材料領域。一種通過頻率調控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法，是將LaNiO3前驅體溶液旋涂于襯底上制得濕膜；所得產品干燥、熱解，退火制得單層LaNiO3薄膜；重復以上兩個步驟，制得多層LaNiO3復合基底；將Pb0.99Nb0.02(ZrxSnyTi1?x?y)0.98O3前驅體溶液旋涂于所得的LaNiO3復合基底上制得凝膠濕膜；將所得凝膠濕膜干燥、熱解、退火制得單層Nb摻雜的PZST薄膜；重復以上兩個步驟制得多層Nb摻雜的PZST薄膜。本發明的有益效果是：獲得一種致密性好、平均晶粒尺寸小、高介電常數、電場擊穿強度大、制冷溫度較大等優點的反鐵電薄膜；本發明制備方法相對簡單，是一種高效低成本的制備技術。
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