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基于精密機械加工的微型熱電器件制作方法

756   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:01
本發明公開了屬于功能材料的微加工和器件集成領域的一種基于精密機械加工的微型熱電器件制作方法。該工藝的核心是熱電堆(熱電臂陣列)的制作，具體步驟為：先利用精密切割法分別在P、N型熱電塊體薄片上加工出一系列平行凹槽，然后在環氧樹脂的潤滑下插嵌復合，待固化后再沿垂直于這些溝槽的方向切割出一系列平行凹槽并填入環氧樹脂，待再固化后經過拋光就可以制作出二維排布的熱電臂陣列。通過后續的電極制作和封裝工藝，就可以制作出適用于便攜式電源或微區制冷的毫米尺度的微型熱電器件。
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“基于精密機械加工的微型熱電器件制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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