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三維納米通孔的制造方法

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:01
本發明公開了一種三維納米通孔的制造方法，屬于光刻技術領域，通過激光直寫結合可調控空間結構光，能夠直接制造直徑＜100nm的三維納米通孔，實現了一種納米孔直徑可控的三維納米通孔制造方法。本發明制造方法過程簡單，成本低廉，制造周期短，能實現納米通孔的可控制造，可以為微納流控、生物醫學、仿生功能材料等領域的研究提供有效解決方案。
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“三維納米通孔的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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