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a軸取向增強型AlN薄膜及其制備方法

1175   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:06:02
本發明公開了一種a軸取向增強型AlN薄膜及其制備方法，屬于電子信息功能材料與器件技術領域。本發明采用如下制備方法：采用n型的Si(100)襯底，將其放入磁控濺射系統腔室中進行真空處理后，采用不同磁控濺射工藝并結合退火處理，首先制備a軸取向AlN緩沖層，然后在此基礎上擇優取向生長AlN薄膜，由于二者晶格匹配度高，從而改善了AlN薄膜的生長質量，降低其表面粗糙度，進而有利于提高AlN薄膜的壓電效應并降低聲表面波的傳播損耗；本發明制備過程中操作簡單易行，環保節能，原材料供應充足且價格低廉，批量化生產工藝可調控，便于批量生產及應用推廣，適合于制作現代通信技術中高性能通信元器件。
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