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石墨烯高溫溫度傳感器

1200   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
本發明涉及高溫測試技術領域，具體涉及一種石墨烯高溫溫度傳感器。一種石墨烯高溫溫度傳感器，主要結構包括：納米膜、互連電極、襯底、密封環、封裝外殼、陶瓷基板、引線柱。納米膜由上下兩層氮化硼與夾在其中的石墨烯組成，布置在襯底的下表面，襯底上表面刻蝕出多孔結構以加快熱傳導，互連電極由互連凸點鍵合互連焊盤組成，通過引線柱將檢測單元與外部相連。采用Pt?Pt金屬鍵合技術使襯底與陶瓷基板形成真空腔，隔絕了納米膜與外界的直接接觸，為納米膜提供無氧防護。氮化硼/石墨烯/氮化硼納米薄膜既是器件的功能材料，又是其結構材料。器件可以長期穩定工作在1700℃的高溫，并且耐酸堿、抗腐蝕，適用于各種高溫測試環境。
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