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多功能薄膜高靈敏度CMUTs氣體傳感器及其制備方法

693   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:01
本發明公開了一種多功能薄膜高靈敏度CMUTs氣體傳感器及其制備方法，本發明采用石墨烯、二硫化鉬以及MXenes(二維過渡金屬碳化物或氮化物)等同時具有高彈性模量、氣體敏感性以及導電性的多功能材料作為CMUTs敏感元件，即單層懸空薄膜同時用作CMUTs振動薄膜、上電極以及敏感材料層，實現了振動薄膜、上電極以及敏感材料層等多層復合薄膜的一體化設計，可有效減小薄膜質量、提高單元一致性以及諧振頻率，進而可實現CMUTs氣體傳感器檢測極限及檢測靈敏度等綜合性能的大幅提高。
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“多功能薄膜高靈敏度CMUTs氣體傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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