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快熱響應超黑材料及其制備方法

814   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:01
一種具備高導熱性超黑材料的制備方法，屬于功能材料與器件制造領域。采用CVD方式在原始載體上沉積金剛石膜，然后依次完成研磨、拋光等處理工序；隨后在CVD金剛石膜表面濺射沉積催化金屬層，并通過等離子體刻蝕加熱處理工藝實現納米催化顆粒的制備；最后在金剛石膜成表面進行碳納米管陣列的制備，獲得尺寸及光吸收率符合要求的金剛石/碳納米管超黑材料。本發明元件基于金剛石為載體，具有化學性質穩定、導熱率高、光吸收性強等特點。在中間過程采用物理氣相沉積鍍膜和表面氫等離子體刻蝕處理，解決了在金剛石襯底上碳納米管陣列密度低、定向性差等問題，實現了高穩定性、高性能全碳基復合功能材料的制備。保證相對成本較低的同時，保證了產品質量及生產效率。
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