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具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜及其制備方法和應用

844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:01
本發明屬于功能材料與器件領域，具體涉及一種具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜及其制備方法。所述鋯鈦酸鋇鈣薄膜包括基片層、籽晶層和薄膜層，所述籽晶層在所述基片層和薄膜層之間，所述籽晶層和薄膜層的化學通式為Ba(1?x)CaxTi(1?y)ZryO3，其中x=0.01～0.16，y=0.02～0.12。所述制備方法使用低濃度前驅體溶液制備籽晶層，然后再用高濃度前驅體溶液制備鋯鈦酸鋇鈣薄膜，解決了鋯鈦酸鋇鈣薄膜制備過程中開裂的問題，提高無鉛薄膜的壓電性和介電性，且低成本和可控，制得的具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜平整度高，均勻性好，無裂紋，質量高，使其在微機電系統、鐵電存儲系統或多功能集成器件中得到實際應用。
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