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利用飛秒激光雙光子制備導電材料的方法

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
一種利用飛秒激光雙光子制備導電材料的方法,涉及導電材料加工技術領域。其包括:a)步,使用的光源為藍光飛秒激光,產生的方法為:將波長在750～850nm、脈沖寬度在60～100fs的飛秒激光,經倍頻后形成藍光375～425nm的飛秒光;或使用其它直接產生藍光的飛秒激光作為加工的光源。b)步,把藍光375～425nm的飛秒光經透鏡聚焦到所要加工的非導電材料上;c)步,通過計算機控制樣品位置或激光焦點照射在非導電材料內的位置,使激光與材料發生相互作用,發生雙光子吸收,在曝光的位置形成導電的功能材料。本發明較之現有MEMS微型電子器件的加工方法,具有真三維、高分辨、導電性、一次性加工等特點。
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