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使用雙釋放層的功能納米顆粒的納米壓印光刻形成

1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
功能納米顆?？墒褂弥辽僖粋€納米壓印光刻步驟形成。在一個實施例中，可使用壓印光刻工藝將犧牲材料圖案化在多層基底上，該多層基底包括在可移除層之間的一個或多個功能層。該功能層中的至少一個層包括功能材料，諸如制藥復合物或成像劑。該圖案可被進一步蝕刻到該多層基底中。該功能材料的至少一部分隨后可被移除以提供露出柱體的冠表面。移除該可移除層將該柱體從該圖案化表面釋放以形成功能納米顆粒，諸如藥物或成像劑載體。
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