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基于VN的SNS約瑟夫森結及其制備方法

1030   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明提供一種基于VN的SNS約瑟夫森結及其制備方法，該基于VN的SNS約瑟夫森結的制備方法包括以下步驟，提供一襯底，采用直流反應磁控濺射于襯底上形成包括NbN底層膜、VN勢壘層及NbN頂層膜的功能材料層，刻蝕功能材料層以形成包括底電極、VN結勢壘層及頂電極的功能層，并形成覆蓋功能層的顯露表面及襯底的上表面的隔離層，于隔離層上形成第一接觸孔及第二接觸孔，并形成覆蓋隔離層及填充第一接觸孔與第二接觸孔的配線層，刻蝕配線層以形成第一配線部及第二配線部。本發明通過采用直流反應磁控濺射方法形成低溫下呈金屬性的VN勢壘層，以得到平整度高、成分穩定、電阻率穩定及均勻性好的VN結勢壘層，提升約瑟夫森結的質量。
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