本發明公開了一種熱驅動的MEMS被動式振動強化傳熱裝置及傳熱方法。傳熱裝置包括錨點、梳齒狀骨架、功能材料夾層、位移放大結構、位移轉換結構、擾流器;錨點固定在熱源面上;驅動部分包括梳齒狀骨架和填充在各個梳齒之間的功能材料夾層,其前端連接著錨點;位移放大結構的前端連著驅動結構的底部;V型的位移轉換結構兩側連接著左右兩個對稱設置的位移放大結構的末端;位移轉換結構的底部連接著擾流器。本發明不需要人為地開關控制,也不需要額外的能量輸入,僅利用熱源中的廢熱實現驅動,實現自適應散熱,并且結構工藝性好,響應速度快,可以為解決高熱流密度器件的散熱問題提供一條新的路徑。
聲明:
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