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半導體結構的形成方法

1104   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明實施例提供一種半導體結構的形成方法，所述形成方法包括：提供襯底；在所述襯底上形成柵功能結構，所述柵功能結構包括：一層柵功能層或多層柵功能層；形成所述柵功能層的步驟包括：在襯底上形成功能材料層；對所述功能材料層表面進行解復合處理，減少所述柵功能材料層表面的陷阱缺陷俘獲的帶電離子；所述解復合處理之后，對所述柵功能材料層表面進行鈍化處理，減少所述柵功能材料層表面的陷阱缺陷；在所述柵功能結構上形成柵極。所述解復合處理和鈍化處理能夠減少所形成半導體結構的低頻噪聲。
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