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基于緩沖層進行深刻蝕的掩蔽方法

903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明實施例提供了一種基于緩沖層進行深刻蝕的掩蔽方法，該方法包括：在襯底上形成功能材料層；在所述功能材料層上形成緩沖層；在所述緩沖層上涂敷一層抗蝕劑材料；對所述抗蝕劑材料進行平面曝光，在所述抗蝕劑材料上形成預設的微結構圖形；將抗蝕劑材料上的微結構圖形轉移到所述緩沖層上；將緩沖層上的微結構圖形深刻蝕到所述功能材料層上；去除抗蝕劑材料和緩沖層，獲得具有微結構圖形的功能材料。通過增加緩沖層保證對功能材料進行深刻蝕的質量。
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