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層狀電磁薄膜功能材料鼓包試樣的制備方法

757   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:30
本發明公開了一種層狀電磁薄膜材料鼓包試樣的制備方法。該方法首先采用濕氧化法和機械加工法對單晶硅薄片進行處理，獲得一面為單晶硅表面，另一面為帶特定盲孔的二氧化硅表面。然后在單晶硅面沉積電磁薄膜材料，并完成高溫退火。再使用有機硅膠將沉積薄膜材料的那面粘結到一個帶有圓孔的石英片襯底上，再密封樣品表面，只暴露出盲孔區域。然后將其放入到氫氧化鉀溶液中進行腐蝕，使得盲孔區域底部剩余的基底發生化學反應。根據預先標定好的腐蝕速率來確定腐蝕時間長短，直至把該區域的單晶硅腐蝕掉，完全露出樣品另一面沉積的薄膜。然后對其清洗、干燥和去除有機硅膠，最終獲得帶獨立支撐窗口的層狀電磁薄膜材料鼓包樣品。
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