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功能材料至靶材表面上的可控沉積

1150   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:29
本文提供了板(1)，其包括將要使用具有波長(λR3)的單色光子輻射(R3)沉積到靶材表面(51)上的功能材料(2)。所述板包括基底(10)，所述基底(10)具有被引導朝向靶材表面的第一表面(11)和接收單色光子輻射的第二表面(12)。第一表面(11)被圖案化為具有一個或多個凹陷區域(111)，所述凹陷區域(111)具有介電涂層(4)并且填充有所述功能材料。介電涂層(4)包括一系列折射率交替的介電涂層子層(41,42,43)。與對于以45度角入射到介電涂層(4)的所述單色輻射(R3)的反射率相比，所述介電涂層(4)對于垂直于介電涂層(4)入射的所述單色輻射(R3)具有相對高的反射率。從而減輕了剪切力，而不需要高的對準精度。本申請還提供了包括該板的沉積裝置和涉及該板的方法。
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“功能材料至靶材表面上的可控沉積” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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功能材料
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