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全干法功能材料剝離的方法

803   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:28
本發明揭示了一種全干法功能材料剝離的方法。本發明通過對襯底進行修飾以降低光刻膠與襯底的粘附力，然后在光刻膠上曝光出所需的結構，再對圖案化光刻膠之后的樣品鍍上功能材料，利用黏貼層選擇性的把光刻膠及其上面的功能材料撕走，從而留下圖案化之后的功能材料反結構，即代替了現有的濕法剝離方案，實現了高精度綠色的干法剝離。
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聲明：
“全干法功能材料剝離的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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