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多晶硅半熔鑄錠工藝

736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本申請公開了一種多晶硅半熔鑄錠工藝，屬于光伏技術領域。該多晶硅半熔鑄錠工藝包括下述步驟：1)裝料階段：將硅料裝填入坩堝，轉移坩堝至鑄錠爐；2)加熱、熔化階段：關閉隔熱籠，將鑄錠爐抽至真空，加熱、熔化硅料，在熔化階段中后期逐步打開隔熱籠至第一開度；3)長晶階段：控制隔熱籠的上升速度調整坩堝底部的溫度控制長晶速度，結晶階段的隔熱籠的上升至少包括順序調整的第一上升速率、第二上升速率和第三上升速率三個階段；4)退火、冷卻階段即制得多晶硅錠。該工藝制備的多晶硅高效產出率高，多晶硅錠的長晶初期形成的底部的缺陷少。
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聲明：
“多晶硅半熔鑄錠工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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