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薄膜形成裝置

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
一種薄膜形成裝置,包括:具有多個噴涂液體用噴孔的涂液噴頭;使沉積了上述涂液的上述涂敷基片繞轉軸旋轉的旋轉裝置;使上述涂液噴頭和涂敷基片在該基片鄰近轉軸的附近區域和離開轉軸的離開區域之間作互為相對移動的相對移動裝置;相對移動控制裝置,使隨著上述涂液噴頭和基片的相對位置從所鄰近轉軸區域相對移向離開轉軸區域時,相應減少相對移動速度和旋轉裝置的旋轉角速度。根據本發明,可用簡單的控制制得均勻的薄膜。
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