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AZO靶材的制備方法及AZO靶材

1061   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:02
本發明屬于新材料領域，具體涉及一種AZO靶材的制備方法，包括：通過AZO原料制備AZO噴涂材料；以及將AZO噴涂材料通過噴涂方式制成AZO靶材。本申請的制備方法通過制備AZO噴涂材料和噴涂工藝兩步制成AZO靶材，提高了靶材的均勻性，也簡化了靶材的生產工藝，提高了生產效率，節約了生產成本。
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“AZO靶材的制備方法及AZO靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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