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超大型細晶鉬平面靶的制備方法

1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:02
一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，采用純度＞99.95%的鉬粉制得，其中，鉬平面靶的長度＞450㎜，寬度＞320㎜，厚度＞75㎜，制備方法是：取鉬粉裝入膠膜內，靜壓成型，后置于中頻爐，氫氣氣氛下燒結成板坯后，置入模具中，鍛打板坯模具，后置入回火爐，退火，形成細晶組織,精細加工、清洗、干燥后制得鉬平面靶。本發明克服了燒結和鍛打的工藝缺陷，工藝簡單，易工業化生產控制，降低污染，成本低，質量提高，生產效率極大提高。
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