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鋁鉻硼合金靶材及其制備方法

996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:02
本發明提供了一種鋁鉻硼合金靶材，以原子百分比計，其成分包括鋁30?80at％，鉻10ˉ50％，硼5?30at％。本發明還提供了一種鋁鉻硼合金靶材的制備方法，步驟包括：將鋁粉和硼粉在真空或高純氬氣保護條件下混合；將混勻的粉末燒結得到鋁硼合金塊；將鋁硼合金塊破碎成鋁硼合金粉末；將鉻粉和鋁硼合金粉末在真空或高純氬氣保護條件下混合、再冷等靜壓壓制得金屬塊體；將金屬塊體裝入包套中脫氣處理后在熱等靜壓設備中燒結壓制得到合金錠坯；最后將合金錠坯機加工、清洗得成品靶材。本發明制得的鋁鉻硼合金靶材，致密性好，無氣孔、無疏松和偏析，成分均勻，晶粒細小，規格尺寸大。
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