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釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置

761   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:01:01
本發明涉一種釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置，包括主體、中頻電源、冷卻液循環裝置、補氣裝置與抽真空裝置，主體為密閉結構，中頻電源固定在主體外部，中頻電源通過電源線分別連接有左銅極板和右銅極板，基板安裝在主體內部，基板接地，冷卻液循環裝置、補氣裝置和抽真空裝置均固定在主體外部，并通過各自的管路與主體連接，左靶材固定在左銅極板上，右靶材固定在右銅極板上。本發明采用中頻孿生靶濺射技術，沉積速率非?？?，是直流單靶的數倍；膜內缺陷低，本發明裝置采用滾筒式結構，可以讓工件表面沉積的鍍膜更均勻,多靶頭以及可旋轉靶頭的設計，不但可以充分利用裝置內部空間，還可實現靶源的快速切換，減少靶材的更換頻率，提高生產效率。
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“釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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