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穩定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法

1032   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明公開一種穩定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法，涉及鍍膜技術領域，包括配料和燒結工藝步驟。本發明，設計科學、合理，對于所述鍍膜靶材，制備方便、節約，作用安全、可靠，能夠有效解決氧化鋯鍍膜靶材開裂問題，能解決傳統氧化鋯鍍膜靶材鍍膜過程中的不穩定和折射率不均勻性問題，提高氧化鋯薄膜的損傷閾值，確保產品質量。
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“穩定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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