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智能玻璃陽極電致變色層鍍膜材料的制備方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:01
本發明公開了一種智能玻璃陽極電致變色層鍍膜材料的制備方法，使用注漿成型加真空高溫燒結的方式來制作相關靶材，藉由高溫燒結過程中真空處理及添加第二種元素在氧化鎳中，造成氧的空缺產生電載子移動性來提高材料的導電性，提高靶材均勻性及致密度，大幅降低濺鍍過程中異常電弧的產生，延長靶材壽命及利用率，提高濺鍍薄膜質量及性能。濺鍍時使用脈沖DC,AC或是MF等電源可以獲得穩定的濺鍍電弧,濺鍍過程中只需通入少量的氧氣,不易造成落塵,同時采用階段升溫燒結的工藝及在氬氣中添加其他氣體，濺鍍成膜速率可以提高5?10倍左右,并提高薄膜的平坦度及大面積的均勻度。
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