一種納米陶瓷內部三維微細通道的加工方法,涉及一種納米陶瓷內部三維微細通道的加工方法。本發明是為了解決在陶瓷材料上獲得密閉的三維微細通道困難的技術問題。本發明:一、制備納米陶瓷坯體結構;二、納米陶瓷坯體結構表面拋光;三、納米陶瓷坯體結構烘干處理;四、蝕刻制作掩模板;五、噴涂;六、真空塑封;七、冷等靜壓;八、脫脂處理;九、燒結強化。本發明提出了微細通道形狀及精度的控制方法,解決了傳統陶瓷微細通道難加工的問題,本發明制備的三維微細通道的寬度可以達到500微米~100納米。本發明應用于在納米陶瓷內部加工三維微細通道。
聲明:
“納米陶瓷內部三維微細通道的加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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