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大尺寸鉬鈮靶材的制備方法

1018   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:59:02
本發明公開了一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法,采用獨特的球磨工藝,球磨機內襯材料與磨球均為鉬或鈮為母體的合金,引入的雜質很少,可保證靶材的高純度;經球磨、真空燒結使粉末粒度均勻,燒結組織均勻,包套處理防止了鉬鈮靶材氧化或者氫化而生成脆性相,保證了鉬鈮合金的可塑性,解決了低成本大尺寸鉬鈮靶材的難題。本發明的效果和益處是在制造成本、產品性能、規?;a和環境友好等方面都展現出顯著的競爭優勢和利潤空間。
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