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高純度碳化硅制品的制備方法

983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明公開了一種高純度碳化硅制品的制備方法，包括：步驟一、將碳化硅粗粉、碳化硅細粉、水性有機硅樹脂和低聚硅烷加水在捏煉機中捏煉成含水量為7～15％的可塑泥料；步驟二、將所述可塑泥料在真空擠出機中擠制為所需形狀的濕坯，經干燥后得生坯；步驟三、在惰性氣體保護下，將生坯在真空燒結爐中升溫至1500℃進行燒結反應，燒結時間為0.5～3h，得預燒結體；步驟四、在惰性氣體保護下，將所述預燒結體置于真空高溫燒結爐中進行再次升溫燒結，出爐后得高純度碳化硅制品。本發明公開的制備方法制備的碳化硅制品具有高純度、高密度、耐高溫的優點，且抗壓性能優異，使用壽命長。
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