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氧化釔穩定氧化鉿真空鍍膜材料的制法

1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
一種氧化釔穩定氧化鉿的真空鍍膜材料的制法，其特征是，包括以下步驟：1)以氧化鉿和氧化釔粉料為原料，按摩爾比氧化鉿：氧化釔＝73～98：2～27，均勻混合，然后添加聚乙烯醇結合劑使粉料團聚，造粒；2)對顆粒料進行預燒，預燒溫度為1260℃；3)在真空燒結爐中燒結，真空度為1×10－2～1×10－4帕，升溫速率為3～8℃/分鐘，到達1700～2280℃時保溫，保溫時間為150分鐘以上，然后自然冷卻降溫至室溫。本發明能夠解決傳統氧化鉿鍍膜材料鍍膜過程中的不穩定和折射率不均勻性問題，同時提高氧化鉿薄膜的損傷閾值。
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“氧化釔穩定氧化鉿真空鍍膜材料的制法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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