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抗粉化塊體吸氣劑的制備方法

1072   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明公布了一種抗粉化塊體吸氣劑的制備方法，所述方法包括如下步驟：將吸氣合金中的原料按一定比例進行配制，通過熔煉的方法制備成合金，然后對合金在保護氣氛下進行破碎和球磨；將吸氣合金粉末與0.1~70%wt%鈦及鈦合金纖維均勻混合形成合金混合物；將上述合金混合物在鋼性模具中進行壓制形成壓坯；在真空度為3~5×10?3 Pa的真空環境下，對壓坯進行真空燒結，即可得到抗粉化能力強的塊體吸氣劑。本發明產生的塊體吸氣劑產品，在MEMS晶元級封裝中具有較好的韌性，克服了產品使用過程中掉粉掉渣的現象，能夠維持晶元封裝后在振動環境下較好的真空度，有利于延長使用壽命，并且結構設計簡單，適合大批量生產，可以有效地滿足用戶的需求。
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聲明：
“抗粉化塊體吸氣劑的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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