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鉭、鈮管狀靶材生產方法

988   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:53
本發明提供了一種鉭、鈮管狀靶材生產方法，包括以下步驟：在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結劑混勻進行粘結并裝入冷壓設備冷壓成管狀錠材；采用真空燒結爐對成型的管狀錠材進行燒結；采用管材軋制機對燒結后的管狀錠材進行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內徑分別達到預設尺寸；對軋制后的管狀錠材進行真空熱處理并結晶退火；對結晶退火后的管狀錠材的內外表面進行機械加工，以使管狀錠材的外徑和內徑分別達到最終成品尺寸。采用本發明技術方案的鉭、鈮管狀靶材生產方法生產的鉭、鈮管狀靶材內部組織一致性較好，保證濺射膜的質量；同時靶材成才率高，有效節約生產成本。
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聲明：
“鉭、鈮管狀靶材生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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