減少氮化鋁晶體生長(cháng)前后熱應力的碳化鉭復合層的制備方法及其使用方法

一種減少氮化鋁晶體生長(cháng)前后熱應力的碳化鉭復合層的制備方法及其使用方法，它屬于減少氮化鋁晶體生長(cháng)前后熱應力的方法領(lǐng)域。本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題為有效控制氮化鋁晶體生長(cháng)前后熱應力。本發(fā)明按照重量份數分別稱(chēng)量TaC粉、Ta粉，置于球磨機中球磨，得到混合粉料進(jìn)行冷等靜壓成型，然后放入鎢模具的熱壓燒結爐內，以20?30MPa的壓力進(jìn)行真空燒結處理，然后降溫冷卻至室溫后表面均勻鋪灑稱(chēng)量好的鋁粉，然后置于燒結爐中，以20?30MPa的壓力進(jìn)行真空熱壓燒結，保溫完成后，充入高純氮氣，取消載荷，降溫后進(jìn)行氮化反應后降溫冷卻至室溫，得到碳化鉭復合氮化鋁層材料再次進(jìn)行高溫碳化反應得到復合層。本發(fā)明用于氮化鋁晶體。