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直接水冷的粉末燒結多元合金鍍膜靶及其制造方法

1198   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:02
本發明提供了一種直接水冷的粉末燒結多元合金鍍膜靶及其制造方法,所要解決的問題是:粉末燒結的靶材其內部存在微細空隙,會漏水,只能采用間接水冷的方式。本發明的要點是在靶塊的下面復合一個金屬軋制的靶座。制造時采用真空燒結爐,將底座與靶材通過紫銅焊料燒結在一起。本發明的有益效果是:在合金靶材底面設置了不透水的靶材底座,可直接對鍍膜靶的底座進行水冷,提高了冷卻效果和成膜質量。節省約1/3的貴重多元粉體金屬材料,降低靶材的制造成本。
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“直接水冷的粉末燒結多元合金鍍膜靶及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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