權利要求
1.光調制的微環諧振腔，其特征在于，包括：基底層（1）；微環諧振腔層，所述微環諧振腔層由可逆的相變材料薄膜（2）制成，所述微環諧振腔層包括直母線波導（4）、環形波導（5）、耦合區（6），在所述的相變材料薄膜（2）上通過外部激勵信號直寫刻畫有直母線波導（4）和環形波導（5），所述的直母線波導（4）和環形波導（5）通過耦合區（6）耦合；包層薄膜層，所述包層薄膜層由包層薄膜（3）制成。
2.根據權利要求1所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的環形波導（5）的折射率＞所述的直母線波導（4）的折射率＞未設有波導區域的相變材料薄膜（2）的折射率＞所述的基底層（1）和所述的包層薄膜（3）折射率。
3.根據權利要求2所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的環形波導（5）的折射率比直母線波導（4）的折射率大0.1~0.5。
4.根據權利要求2所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的直母線波導（4）包括左側直波導（41）、弧形波導（42）和右側直波導（43）；所述的弧形波導（42）的兩端分別與左側直波導（41）和右側直波導（43）連接，所述的弧形波導（42）與環形波導（5）耦合，弧形波導（42）與環形波導（5）共同構成耦合區（6）。
5.根據權利要求4所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的弧形波導（42）與環形波導（5）具有共同的圓心。
6.根據權利要求4所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的弧形波導（42）所對應的扇形的圓心角為30°；所述的環形波導（5）的半徑值為20um~200um。
7.根據權利要求5所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，所述的環形波導（5）與弧形波導（42）之間的間隙為100nm ~800nm。
8.根據權利要求1至7任一項所述的光調制的微環諧振腔，其特征在于，光信號從左側直波導（41）輸入，并在耦合區（6）中通過倏逝波耦合，光信號通過耦合進入到環形波導（5）中，并沿著逆時針方向進行傳輸；當倏逝波滿足在環形波導（5）內傳輸一周產生2π的相移時，在環形波導（5）的環中發生諧振，此時環形波導（5）的半徑滿足表達式：2πRneff=mλ，其中，neff為波導的有效折射率，R為環形波導（5）的半徑，λ為光波的波長；m指波長的整數倍
聲明：
“光調制的微環諧振腔及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：中山大學
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2025年07月09日 ~ 11日 
