本發明涉及一種高純多晶硅的生產方法以及利用該生產方法生產高純多晶硅的生產裝備,其中所述的生產方法包括如下步驟:硅料準備、熔煉包裝料、硅料熔煉、除渣、熔融硅精煉、硅液擋渣澆鑄、硅液真空脫氣與定向凝固、硅錠出爐和去皮切割,其中,所述硅料準備步驟中所使用的硅料為冶金級還原硅,在所述硅料熔煉步驟中采用的加熱方式包括化學燃燒加熱。所述生產裝備包括至少三個以上相同的用于熔煉包或精煉包的包結構,其中一個包用于熔煉操作中,一個包用于精煉操作中,一個包用于修補、預熱或裝料操作中。采用本發明的生產方法和裝備,可以大規模、低成本地生產高純多晶硅。
聲明:
“高純多晶硅的生產方法及生產裝備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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