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大規模集成電路用高純鎢粉的制備方法

951   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:06
一種大規模集成電路用高純鎢粉的制備方法，屬于鎢粉末冶金技術領域。本發明以工業0級偏鎢酸銨為原料，在550-600℃煅燒后于濃氨水中進行溶解形成鎢酸銨溶液，鎢酸銨溶液通過10μm和1μm過濾器濾去除不溶物等雜質后于90-120℃下進行重結晶得到濕偏鎢酸銨，而后經過固液分離、去離子水洗滌和干燥得到純度為99.999%的高純偏鎢酸銨。高純偏鎢酸銨在氫氣氣氛中于800-900℃還原得到平均粒度為3-5μm的高純鎢粉。高純鎢粉經過檢測后，雜質元素總含量小于10ppm，純度大于99.999%，可以滿足大規模集成電路及半導體芯片封裝行業的使用要求。
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