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內嵌浮空N+區的LIGBT型ESD防護器件

708   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:06
本發明揭示了一種內嵌浮空N+區的LIGBT型ESD防護器件，ESD防護器件包括硅襯底，在硅襯底上設有埋氧層，埋氧層上設有漂移區，漂移區的左上方為漏極區，右上方為源極區；漂移區內中間引入浮空N+電荷區，在N?buffer區中為漏極重摻雜P+區；在P?body區中為源極重摻雜N+區，重摻雜P+區。本發明可解決現有技術中普遍存在的觸發電壓過高、維持電壓過低、抗閂鎖能力不足的技術問題，設計了一種內嵌浮空N+區的LIGBT型ESD防護器件，由于浮空重摻雜N+電荷區的存在，觸發時器件擊穿結P?body/N?epi結冶金結處電場分布得到調制，更易發生雪崩擊穿，因此降低了觸發電壓。
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聲明：
“內嵌浮空N+區的LIGBT型ESD防護器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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