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高純鎢靶材的制備方法

865   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:28
本發明涉及一種高純鎢靶材的制備方法，屬于難熔金屬制備特種技術領域。所述方法利用化學氣相沉積通過控制核心參數制備高純鎢板，進一步采用高溫軋制和熱處理再結晶進行加工，最后通過機械加工后與背板焊接得到高純鎢靶。所述方法制備出的鎢靶材純度高達99.9999％以上，較利用粉末冶金制備出的鎢靶材相比純度更高，雜質更少，這使得在磁控濺射中，有效避免了鎢靶材在電子轟擊作用下內部雜質元素被轉移到終端產品上，可大幅度提高終端產品的良率。
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聲明：
“高純鎢靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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