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氮化鋁陶瓷板金屬化的方法

846   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:50:16
本發明公開了一種氮化鋁陶瓷板金屬化的方法,所述的方法是:首先在氮化鋁陶瓷板表面通過物理氣相沉積方法形成一定厚度的鈦導電層,然后通過化學方法在表面鍍鈦的氮化鋁陶瓷板上電鍍銅鍍層,最后將表面先后鍍覆了鈦導電層和銅鍍層的氮化鋁陶瓷板置于熱處理爐中,使先后形成TiN和TiCu冶金過渡層,從而實現氮化鋁陶瓷的金屬化。本發明與直接覆銅法相比控制條件簡單、設備現成,同時銅與氮化鋁的結合不是依靠氧化物的反應來實現,避免結合界面因氣體排不出而出現鼓泡、工序復雜等問題,提高氮化鋁陶瓷板覆銅金屬化的成品率。
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