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光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法

763   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:09
本發明公開了一種光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法。該薄膜材料包括基底和合金薄膜；基底的材料為金屬、半導體或絕緣體材料；合金薄膜材料基本成分為Pd和Y，化學組成為Pd[1-x-y]Y[x]α[y]，其中α為Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一種，或者為La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一種，0＜x≤0.3，0≤y≤0.3；合金薄膜材料厚度2～1000nm。制備方法，首先用感應熔煉或粉末冶金方法預制合金靶，然后通過物理氣相層積方法，在基片上制成合金薄膜材料；或者利用多個純靶材，直接在基片材料上多靶共濺層積，制成合金薄膜材料。光纖氫氣傳感器具有抗干擾能力強，安全性好，可靠性高的特點?？蓮V泛用于各種需要檢測氫氣泄露的情況。
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“光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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