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光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法

763   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:50:09
本發明公開了一種光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法。該薄膜材料包括基底和合金薄膜;基底的材料為金屬、半導體或絕緣體材料;合金薄膜材料基本成分為Pd和Y,化學組成為Pd[1-x-y]Y[x]α[y],其中α為Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一種,或者為La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一種,0<x≤0.3,0≤y≤0.3;合金薄膜材料厚度2~1000nm。制備方法,首先用感應熔煉或粉末冶金方法預制合金靶,然后通過物理氣相層積方法,在基片上制成合金薄膜材料;或者利用多個純靶材,直接在基片材料上多靶共濺層積,制成合金薄膜材料。光纖氫氣傳感器具有抗干擾能力強,安全性好,可靠性高的特點??蓮V泛用于各種需要檢測氫氣泄露的情況。
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“光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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