微波等離子體輔助的多晶硅提純方法

本發(fā)明涉及一種微波等離子體輔助的多晶硅提純方法，將硅料放置于真空中頻感應爐的石墨坩堝后，將爐體抽真空至壓力≤1Pa；開(kāi)啟中頻電源，以10～100℃/min的速率升溫至1500～1650℃，加熱直至硅料完全熔化；開(kāi)啟微波源，通入反應氣體，進(jìn)行反應熔煉；熔煉結束后，進(jìn)行澆鑄，得到純度＞99.999％的高純多晶硅。本發(fā)明結合了真空中頻精煉和微波等離子體反應加熱進(jìn)行除雜，反應條件溫和，提純效果明顯，降低了能耗，有利于工業(yè)化生產(chǎn)。