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微波等離子體輔助的多晶硅提純方法

1087   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:27
本發明涉及一種微波等離子體輔助的多晶硅提純方法，將硅料放置于真空中頻感應爐的石墨坩堝后，將爐體抽真空至壓力≤1Pa；開啟中頻電源，以10～100℃/min的速率升溫至1500～1650℃，加熱直至硅料完全熔化；開啟微波源，通入反應氣體，進行反應熔煉；熔煉結束后，進行澆鑄，得到純度＞99.999％的高純多晶硅。本發明結合了真空中頻精煉和微波等離子體反應加熱進行除雜，反應條件溫和，提純效果明顯，降低了能耗，有利于工業化生產。
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