1.本發明涉及拋光漿料制備技術領域，尤其涉及一種高純納米氧化鋁拋光漿料的制備方法。
背景技術：
2.拋光液是超細固體研磨材料和化學添加劑的混合物，為均勻分散的乳白色膠體，起到研磨、腐蝕溶解等作用，主要原料包括研磨顆粒、ph調節劑、氧化劑和分散劑等。高精度、高性能晶圓拋光的對拋光漿液的要求高，而目前國內現有的拋光漿料產品在使用時存在分散性不佳、拋光效果一般的問題。
技術實現要素：
3.本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種高純納米氧化鋁拋光漿料的制備方法。
4.為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：
5.一種高純納米氧化鋁拋光漿料的制備方法，包括以下步驟：
6.步驟1：將氧化鋁原料、超純水和研磨介質a上料研磨機a中，循環研磨至氧化鋁的粒徑d50為1-3μm；
7.步驟2：將研磨機a中研磨完成后的氧化鋁、超純水輸送至研磨機b中，并將分散劑和研磨介質b上料至研磨機b中，循環研磨至氧化鋁的粒徑d50為80-120nm，d99＜280nm；
8.步驟3：對研磨機b中研磨完成后的氧化鋁漿料進行純化處理；
9.步驟4：對純化處理后的氧化鋁漿料進行過濾，得到高純度納米氧化鋁拋光漿料。
10.優選的，步驟2中分散劑的添加量為氧化鋁原料重量占比的0.3％-10％。
11.優選的，步驟4制備所得的高純度納米氧化鋁拋光漿料的固含量為20％。
12.優選的，所述氧化鋁原料為原晶粒徑＜0.5μm的煅燒α-al2o3；α-al2o3含量≥98％，總al2o3純度≥99.8％。
13.優選的，所述分散劑為三乙醇胺、聚丙烯酸銨鹽、三聚磷酸鈉、六偏磷酸鈉、聚乙烯醇、十二烷基苯磺酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、苯乙烯-馬來酸系超分散劑中的一種或幾種。
14.優選的，所述聚乙烯醇的聚合度為2.5萬-17萬，醇解度為78％-98％；所述聚丙烯酸銨鹽的固含量為35％-65％。
15.優選的，所述研磨介質a為氧化鋁球和氧化鋯球中的一種；研磨介質a的直徑為2mm。
16.優選的，步驟1中的研磨時長為15min，研磨得到的氧化鋁粒徑d50為2μm。
17.優選的，所述研磨介質b為氧化鋁球和氧化鋯球中的一種；研磨介質b的直徑為0.1mm。
18.優選的，步驟2中研磨時長為4-8h。
19.優選的，步驟3中的純化處理方法為：采用陰離子交換樹脂和陽離子交換樹脂對氧
聲明：
“高純納米氧化鋁拋光漿料的制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：美軻（廣州）新材料股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
