本發明公開了一種厚膜壓力敏感頭,其包括:金屬筒,其內設有縱向延伸且底端用于引入待測流體的導入通道,導入通道的頂端封堵有彈性金屬膜片;縱向設置于導入通道內的隔板,隔板的一端延伸至彈性金屬膜片的內側壁,并將導入通道橫向分隔為第一導入腔和第二導入腔;及固定于彈性金屬膜片的外側壁上的壓力感測組件,壓力感測組件包括兩個壓力感測電路,兩個壓力感測電路與第一導入腔和第二導入腔縱向一一對應。其通過將導入通道隔開為兩個導入腔,并相應地通過兩個壓力感測電路分別測量彈性金屬膜片的兩部分之變形量,其能夠在制造成本少量提升的前提下,很大程度上避免壓力感測電路的失效問題,提高傳感器的使用壽命和可靠性。
聲明:
“厚膜壓力敏感頭及壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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